產品型號

MINICP-2G

樣品尺寸要求

樣品平移：±15mm（特殊需要可定制樣品臺）

功能

高效2個離子槍配置、支持低溫、支持真空換樣、減薄、拋光、刻蝕、樣品冷卻、樣品真空轉移

切割樣品：長≤10mm；厚≤1.3mm；高≤4mm

氣源

高純氬氣，純度要求≥99.999%

樣品旋轉速度

1-6r/min

氣體流量

≤1sccm

樣品平移范圍

±15mm

極限真空

≥5*10-3Pa

樣品平移速度

0.1-1mm/m

離子能量

1keV~10keV

儀器尺寸

約500 mm×500mm×500mm

冷卻溫度

液氮傳導冷卻（選配）

整體重量

≈50kg

真空移樣

隔絕空氣的樣品轉移（選配）

電源

AC 220V，50Hz

界面切割速度

60μm/h (Cu)